中微半导体、巴德阿克塞斯有新进展

UVLED风向 · 2024-06-18

行家说UV 导读：

巴德阿克塞斯系统股份有限公司涉及消毒系统和对医疗设备进行消毒的方法。消毒系统包括用于医疗推车的覆盖物，该覆盖物将布置在推车上的医疗设备暴露于消毒紫外光。覆盖物包括发光系统，该发光系统包括多个UV光源，诸如LED，多个UV光源被配置为在覆盖物下方限定紫外光环境。

发光系统可以包括一个或多个光管和/或光纤。覆盖物的不透明层将紫外光环境容纳在覆盖物下方。发光系统的部分悬垂在覆盖物之上，以便在推车上的相邻医疗设备之间发射UV光。

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中微半导体设备（上海）股份有限公司公开了一种生长高铝III族氮化物的方法和MOCVD设备，以及该方法在制备紫外发光器件方面的应用，所述高铝III族氮化物中的铝元素在III族元素中所占的比例在30％以上，所述方法包括：将衬底转移到MOCVD设备的腔体中；在腔体中提供III族源气体和V族源气体，以在衬底上外延生长高铝III族氮化物，其中，III族源气体在MOCVD设备的气体喷淋头的出气口处的流速U＆lt;subgt;III＆lt;/subgt;是V族源气体在气体喷淋头的出气口处的流速U＆lt;subgt;V＆lt;/subgt;的20倍～60倍。

该发明能够降低III族源气体和V族源气体在到达衬底表面之前的预反应，还能够提高III族氮化物的生长速度和质量，提高紫外发光LED的发光性能。

来源：综合整理

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