关于UV，这两家企业有进展

UVLED风向 · 2024-05-11

行家说UV了解到，成都紫外光电、极紫外半导体在紫外方面，有新的进展。

一种紫外光检测方法、模块和系统

成都紫外光电技术有限公司公开了一种紫外光检测方法、模块和系统，其方法为采用多个相同型号的紫外光敏元件来同步探测所处环境中的紫外光，将各个紫外光敏元件输出的探测信号转换为相应的脉冲信号后，通过检测脉冲信号间的时间间隔，当有时间间隔的长度不超过设定值时，产生预警信号，从而表明各个紫外光敏元件探测到所处环境中出现紫外光，而不是紫外光敏元件自身因电子噪声触发而不定时产生的脉冲响应。

因此，应用在日光光照和环境温度升高的情况下，能够避免由于电子噪声触发而导致的紫外光检测有效性的大幅降低，容易产生误报的情况发生。

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一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置

苏州极紫外半导体有限公司提供了一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置，涉及极紫外光刻光源技术领域，旨在解决陶瓷毛细管放电时，产生电极碎屑、管壁碎屑，存在光噪声的问题，采用的技术方案是，包括毛细管和电极，毛细管的两端还设有电极，毛细管外部还套设有放电室，放电室上还设有收集孔和观察孔，毛细管与供气系统连通。

对此提高了极紫外光的输出功率，较低的放电重复频率即可满足极紫外光刻生产的要求；极大减少了电极碎屑、管壁碎屑和光源杂质，有利于极紫外光的输出；采用气动系统供气，提高了极紫外光的纯净度；延长了毛细管的长度，并采用侧面收集方式，相比于传统的端面收集，收集面大大提高，极紫外光的收集效率也增加。

来源：综合整理

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