中晟光电ProMaxy? UV MOCVD 设备获重大技术突破，国内多家企业已采用

UVLED风向 · 2022-03-08

随着深紫外 LED 应用的不断推广，对功率转化效率，良品率，及生产成本等提出了更高的要求。

此前针对深紫外 LED 外延生长 AlN（铝氮）的材料晶体质量，表面形貌特征，及裂纹控制，对提高功率转化效率和良品率具有重大的影响，中晟光电在 ProMaxy? UV 自主创新的核心技术的基础上，对反应腔的温场控制，反应气体的传输及均匀分布等技术进行了进一步创新和优化，建立了既可外延生产高质量的 AlN 基板，在同样的机台情况下，2英寸片产能提高到15片的MOCVD核心技术，同时该技术又可降低生产成本。

为了进一步降低设备成本和提高产能，中晟光电新推出配置 4 个反应腔的ProMaxy? UV 的机型，该机型既可每腔独立外延生产深紫外 LED 全结构，也能分腔集成外延生产 AlN 基板和 LED 结构。

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中晟光电介绍，ProMaxy? UV 产品及新技术的突破已获得国内客户和市场的认可，据悉，目前国内多家客户均已采用了中晟光电新的 MOCVD 技术，在生产中可获得如表面特征 Rq的高质量、低成本的 AlN 基板，已成为 2020 年以来深紫外LED 产能扩充和技术研发的主要机型。特别是ProMaxy? UV 相关产品在2020年8月后陆续发货多家，并于2021年进行装机验证，且获得了上海市高新技术成功转化项目证书。

另外，据“行家说UV”了解到，中晟光电设备（上海）股份有限公司早在 2016-2017年就与国内深紫外LED 领域的杰生半导体共同开发和产业化了首台国产深紫外 MOCVD 设备，ProMaxy? UV。杰生半导体有限公司董事长康健表示，“公司率先评估验证了中晟光电新的 MOCVD 技术和多腔配置的机型，不仅获得了满足大规模生产所需的高质量 AlN 基板，而且显着提高了产能，降低了外延生产成本。”目前杰生半导体已有4台中晟光电深紫外 MOCVD 设备，主要用于消毒/杀菌医疗，白色家电，水净化等深紫外 LED 应用的大规模外延生产。

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