UV LED优秀制程设备！为何中微+ASM太平洋会脱颖而出

UVLED风向 · 2021-10-21

目前紫外高质量外延片及封装产品大规模量产，性能、可靠性、成本等仍然是产业重点关注的问题，只有当性能和成本目标同时达到时，才能更好获得终端市场的认可。“工欲善其事，必先利其器”，设备是紫外LED产业链中极为重要的一环。

为了表彰在UV LED领域的优秀供应链企业和具备突出贡献的产品/技术，2021年，由行家说Research、UV LED风向、UV LED产业联盟启动的「行家极光奖」评选。经过数月紧张的评选，于2021年9月17日晚在深圳皇冠假日酒店揭晓。其中ASM 太平洋科技有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司荣获2021行家极光奖「UV LED制程设备」优秀产品奖。

以下是获奖企业资料和设备资料：

ASM 太平洋科技有限公司

1975年在香港成立，全球首个为半导体封装及电子产品生产的所有工艺步骤提供技术和解决方案的设备制造商，包括从半导体封装材料和后段（芯片集成、焊接、封装）到SMT 工艺。全球并无其他设备供应商拥有类似的全面产品组合及对装嵌及SMT程序的广泛知识及经验。

半导体解决方案分部生产及提供半导体装嵌及封装设备，应用于微电子，半导体，光电子，及光电市场。其提供多元化产品如固晶系统，焊线系统，滴胶系统，切筋及成型系统及全方位生产线设备。SMT 解决方案业务负责为 SMT、半导体和太阳能市场开发和分销一流的 DEK 印刷机，以及一流的 SIPLACE SMT 贴装解决方案。ASMPT总部位于新加坡，自1989年起在香港联交所上市。

AD211Plus-II 共晶封装设备

该设备主要应用在大功率高亮度LED芯片共晶封装UV深紫外线，能够自动焊头水平修正，分段加热区工作台，同时能够固晶芯片雷射温度检测，独立分区氮氢混合气运用及检测，性能提升：±7um@3σ, ±1°@3σ，效率提升：实现无空洞共晶,UPH达7k。

加入UV LED行业交流群，可添加微信：cenxitalk

中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。通过向全球领先的半导体和LED芯片制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务，中微为客户的技术水平提升、生产效率提高、生产成本降低和竞争力增强做出了重要贡献。

中微基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新。

中微的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的芯片加工制造及先进封装，中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位，客户遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、德国、意大利、俄罗斯等国家和地区。

深紫外LED外延片量产MOCVD设备Prismo HiT3?

截止2021年7月，出货量大于10台，适用于高质量氮化铝和高铝组份材料生长，是专为深紫外LED量产的关键设备；是目前业内极具竞争力的深紫外LED高温MOCVD设备，其产出的UVC-LED可广泛应用于杀菌消毒、水净化等应用领域，已获海内外授权专利21项。

END

▼